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中圖儀器W1國產(chǎn)白光干涉儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉測量儀在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。

中圖儀器SuperViewW1白光表面干涉儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

SuperView W1白光干涉儀檢測設(shè)備分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可以進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像的測量過程，通過系統(tǒng)軟件分析器件表面3D圖像并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，實(shí)現(xiàn)了器件表面形貌3D測量的效率高與簡化性。

?現(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點(diǎn)，而單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。SuperView W1白光干涉儀檢測儀器實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。

中圖儀器利用客戶現(xiàn)場一臺已經(jīng)廢棄的三坐標(biāo)平臺進(jìn)行氣浮隔振改造，在完成隔振模塊和WX-100白光干涉儀便攜式測頭的安裝后，客戶獲得了一臺具有超大尺寸平臺和負(fù)載的高精度白光干涉儀。