中圖儀器W1國產(chǎn)白光干涉儀光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

產(chǎn)品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

中圖儀器W1國產(chǎn)白光干涉儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高。

產(chǎn)品配置清單

標準配置

1)SuperView W1主機

2)影像系統(tǒng)：1024×1024

3)光學Zoom：0.5×

4)干涉物鏡：10×

5)XY位移載物臺：自動位移臺

6)DELL品牌計算機

7)4.7μm  Z向校準臺階塊

8)操縱手柄

9)中圖W1光學3D表面輪廓儀軟件

10)自動多區(qū)域測量、自動拼接測量功能模塊

11)電氣控制柜

12)TGY30-680-30L無油空壓機

13)儀器工作臺

14)儀器配件箱

15)加壓充氣裝置一套

16)產(chǎn)品使用說明書

17)產(chǎn)品合格證、保修卡

可選配置

1）干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×

2）光學zoom：0.75×、1×；

3）真空吸附臺（尺寸可定制）：4寸、6寸;

4）5孔電動物鏡轉盤；

5）隔振外殼（1043㎜×1120㎜×1630㎜）