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NS系列微納米測量接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。

NS系列納米臺階測厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。

VT6000高分辨率共焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，主要采用3D捕獲的成像技術(shù)顯微成像測量，具有較高的三維圖像分辨率。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

NS系列薄膜臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

SuperViewW納米級高精度白光干涉測量儀用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

VT6000大傾角超清納米共聚焦測量顯微鏡用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它是基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。