SJ6000導軌誤差激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償。
SJ6000三坐標幾何誤差激光干涉測量儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。可以檢測三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
SJ6000數控機床精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。
SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000國產激光干涉儀測量系統(tǒng)非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統(tǒng),不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
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