SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀可對測試樣品的表面微納形貌特征進行測量和分析，具有測量準確度高、應(yīng)用范圍廣、智能化水平高等特點。產(chǎn)品經(jīng)深圳市計量質(zhì)量檢測研究院計量校準，技術(shù)指標參數(shù)滿足相關(guān)標準要求。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W3

產(chǎn)品名稱：白光干涉儀

原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置：長范圍，Z軸納米光柵控制

物鏡：Nikon，10×無限遠共軛干涉物鏡

物鏡座：5孔電動物鏡塔臺（標準）

測量陣列：1024*1024，工業(yè)級相機

Z軸：100mm行程，納米位移閉環(huán)反饋

安全性：系統(tǒng)集成緊急制動功能

樣品臺：0.1nm電動，俯仰傾斜±6°，電動調(diào)節(jié)，XY行程300*300；尺寸450*450mm，亞微米閉環(huán)反饋

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

技術(shù)指標

光學(xué)規(guī)格

SuperView W3 光學(xué)3D表面輪廓儀基于白光干涉儀原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到湖面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

產(chǎn)品配置

產(chǎn)品特點

1）參數(shù)測量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積、一網(wǎng)打盡；

2）環(huán)境噪聲監(jiān)測：實時監(jiān)測，納米波動，也無可藏匿；

3）雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無恙；

4）自動拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無縫"；

5）雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動"。

白光干涉全自動光學(xué)3D表面輪廓儀是深圳市中圖儀器股份有限公司針對垂直掃描測量均勻采樣、環(huán)境干擾、中心波長標定、干涉條紋探測等技術(shù)難題，開展白光干涉垂直掃描光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計、宏微驅(qū)動掃描技術(shù)、抗振動結(jié)構(gòu)系統(tǒng)、高精度三維重建算法和測量分析軟件系統(tǒng)等關(guān)鍵技術(shù)研究。突破了雙模式復(fù)合三維測量光學(xué)測量技術(shù)，開發(fā)一種可同時實現(xiàn)白光干涉、聚焦成像的三維輪廓測量復(fù)合光學(xué)測量裝置，擴展測量儀器測量能力及應(yīng)用范圍；攻克融合小波變換、正交解調(diào)的三維重建技術(shù)，開發(fā)干涉條紋自動搜索技術(shù)，較好地抑制非均勻采樣、環(huán)境振動干擾等因素的影響；研發(fā)雙通道氣浮振動隔離技術(shù)并設(shè)計氣浮隔振系統(tǒng)，提高測量系統(tǒng)的抗振動能力。

SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀具有創(chuàng)新性，在雙光路復(fù)合三維測量光學(xué)系統(tǒng)集成設(shè)計及全自動找尋干涉條紋方法方面達到不錯的水平。如今產(chǎn)品已產(chǎn)業(yè)化，在高?？蒲性核?、3C消費類電子、超精密光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測企業(yè)、MEMS器件、微納材料及制造、航天軍工等先進制造的各個領(lǐng)域得到應(yīng)用，反映良好，取得顯著的社會經(jīng)濟效益和生態(tài)環(huán)境效益。