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中圖SJ5800表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x原理為直角坐標(biāo)測(cè)量法，即通過X軸、Z軸傳感器，測(cè)繪出被測(cè)零件的表面輪廓的坐標(biāo)點(diǎn)，通過電器組件，將傳感器所測(cè)量的坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔籔C機(jī)，軟件對(duì)所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算處理，標(biāo)注所需的工程測(cè)量項(xiàng)目。集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量，具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到0.1nm。

中圖儀器SJ5800系列高精度輪廓測(cè)量?jī)x是測(cè)量各種機(jī)械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備，超高精度衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，分辨率高達(dá)0.1nm，系統(tǒng)殘差小于2nm。

SuperViewW1光學(xué)表面3D輪廓儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高；具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

SJ5800接觸式輪廓測(cè)量?jī)x具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到0.1nm，是大曲面測(cè)量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、光學(xué)鏡片）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。適合測(cè)量大曲面高精密零部件的輪廓參數(shù)測(cè)量，同時(shí)具備球面、弧面、非球面輪廓參數(shù)評(píng)價(jià)功能，能夠滿足各種高精密輪廓粗糙度加工行業(yè)的測(cè)量需求。

中圖儀器SJ5800系列粗糙度輪廓一體式測(cè)量?jī)x是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的高精度測(cè)量?jī)x器；采用超高精度納米衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性氣浮隔振系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)球面及非球面光學(xué)元器件表面粗糙度和輪廓的高精度測(cè)量和分析。

SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。