隨著科技進步，顯微測量儀器以滿足日益增長的微觀尺寸測量需求而不斷發(fā)展進步。多種高精度測量儀器被用于微觀尺寸的測量，其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）、共聚焦顯微鏡和臺階儀。有效評估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，從而指導(dǎo)生產(chǎn)過程、優(yōu)化產(chǎn)品性能。

光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）

光學(xué)3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進行非接觸式測量的高精度儀器。它通過分析反射光的干涉模式來重建表面的三維形貌。

非接觸無損測量，超高縱向分辨率，測量從光滑到粗糙等各種精細器件表面。測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求超高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈等，同時在航空航天、國防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。它能以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

共聚焦顯微鏡

共聚焦顯微鏡以共軛共焦技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面3D微觀形貌檢測的精密光學(xué)儀器。

非接觸式無損檢測方式，復(fù)雜結(jié)構(gòu)的大角度形貌測量能力，優(yōu)異的橫向分辨率，低反射率表面的適應(yīng)性強。

共聚焦顯微鏡廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求非常高的光伏太陽能、半導(dǎo)體封裝、激光加工、光學(xué)膜材、3C產(chǎn)業(yè)鏈等制造業(yè)，同時在航空航天、國防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。

臺階儀

臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

臺階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性，廣泛用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求。

在實際應(yīng)用中，選擇合適的測量儀器需要綜合考慮樣品的性質(zhì)、測量需求和精度要求。通過合理利用這些先進的測量技術(shù)，可以有效提升微觀特征輪廓尺寸測量的準確性和可靠性，為科研和工業(yè)生產(chǎn)提供堅實的基礎(chǔ)。